20% rabatt med Storytel
Du handlar alltid fysiska böcker till specialpriser om du har eller startar ett abonnemang.
Frakt från 0 kr
Snabb leverans med CityMail, Early Bird, Instabox, Budbee, PostNord eller DSV. Du ser alla fraktalternativ och priser i kassan.
Fria returer
Lämna tillbaka din bok kostnadsfritt med 14 dagars ångerrätt.
20% rabatt med Storytel
Du handlar alltid fysiska böcker till specialpriser om du har eller startar ett abonnemang.
Frakt från 0 kr
Snabb leverans med CityMail, Early Bird, Instabox, Budbee, PostNord eller DSV. Du ser alla fraktalternativ och priser i kassan.
Fria returer
Lämna tillbaka din bok kostnadsfritt med 14 dagars ångerrätt.
20% rabatt med Storytel
Du handlar alltid fysiska böcker till specialpriser om du har eller startar ett abonnemang.
Frakt från 0 kr
Snabb leverans med CityMail, Early Bird, Instabox, Budbee, PostNord eller DSV. Du ser alla fraktalternativ och priser i kassan.
Fria returer
Lämna tillbaka din bok kostnadsfritt med 14 dagars ångerrätt.
Storytel Sweden AB
Box 24167, 104 51 Stockholm
Org.nr 556696-2865
Momsreg.nr SE556696286501
© 2026 Storytel Books. Alla rättigheter förbehållna.
909 kr
20% rabatt med Storytel
Du handlar alltid fysiska böcker till specialpriser om du har eller startar ett abonnemang.
Frakt från 0 kr
Snabb leverans med CityMail, Early Bird, Instabox, Budbee, PostNord eller DSV. Du ser alla fraktalternativ och priser i kassan.
Fria returer
Lämna tillbaka din bok kostnadsfritt med 14 dagars ångerrätt.
I lager, skickas inom 4 till 5 vardagar
909 kr
I lager, skickas inom 4 till 5 vardagar
20% rabatt med Storytel
Du handlar alltid fysiska böcker till specialpriser om du har eller startar ett abonnemang.
Frakt från 0 kr
Snabb leverans med CityMail, Early Bird, Instabox, Budbee, PostNord eller DSV. Du ser alla fraktalternativ och priser i kassan.
Fria returer
Lämna tillbaka din bok kostnadsfritt med 14 dagars ångerrätt.
Utforska miljontals ljud- och e-böcker och upptäck stories i alla format. Med ett abonnemang får du 20% rabatt på fysiska böcker!
The fabrication of an integrated circuit requires a variety of physical and chemical processes to be performed on a semiconductor substrate. In general, these processes fall into three categories: film deposition, patterning, and semiconductor doping. Films of both conductors and insulators are used to connect and isolate transistors and their components. By creating structures of these various components millions of transistors can be built and wired together to form the complex circuitry of modern microelectronic devices. Fundamental to all of these processes is lithography, ie, the formation of three-dimensional relief images on the substrate for subsequent transfer of the pattern to the substrate. This book presents a complete theoretical and practical treatment of the topic of lithography for both students and researchers. It comprises ten detailed chapters plus three appendices with problems provided at the end of each chapter. Additional Information: Visiting http://www.lithoguru.com/textbook/index.html enhances the reader's understanding as the website supplies information on how you can download a free laboratory manual, Optical Lithography Modelling with MATLAB®, to accompany the textbook. You can also contact the author and find help for instructors.
James G. Speight
James G. Speight
The Makers of the Raspberry Pi Official Magazine
Anthony Coulls
Joel Levy
David B. Weishampel, David E. Fastovsky
Frank R. Spellman
Cecil A. Hewett
Richard O. Prum
Simon Schaffer, Steven Shapin
Andrew Dilnot, Michael Blastland
Delano Steenmeijer, Jens Bezemer, Joel Meter, Simon Phillipson, Ted Stryk
Richard Wrangham
Harriet Rix
Jim Bennett
Jennifer Doudna, Samuel Sternberg
Shin Takahashi
Bodhisatta Hajra
Mark Bollman
Michael Gottlieb, Ralph Leighton, Richard Feynman
Rupert Sheldrake
Professor Tim Spector
Sarah Easter Collins
Frida Skybäck
Liz Moore
Colleen Hoover
Kristin Fägerskjöld
Armando Lucas Correa
Sharon Bolton
Ruth Lillegraven
Santa Montefiore
Kelly Rimmer
Martha Hall Kelly
Svenja O'Donnell
Nathan Harris
Holly Jackson
Louise Boije af Gennäs
Tina Norin
Kristin Fägerskjöld
Pernilla Lindroos
Anna Lönnqvist
Jessie Burton
Malin Nordström
Marc Levy
Emma Donoghue
Snezana Lindskog, Andie Lindskog
Tony Samuelsson
Andrev Walden
Tina Harnesk
Kathrine Nedrejord
Anthony Doerr
Marieke Lucas Rijneveld
Lauren Groff
Claire Messud
Claire Lynch
Sebastian Barry
Ray Celestin
Simon Stranger
Alice Munro
Linda Boström Knausgård
Marit Kapla
Ulf Stark
Sarah Easter Collins
Liz Moore
Ursula Scavenius
Colleen Hoover
Michel Jean
